真空镀膜行业兴起背景;随着欧盟RoHS指令的实施及各国针对环保问题纷纷立法。传统高污染之电镀行业已不符合环保要求，必将被新兴环保工艺取代。而真空镀膜没有废水、废气等污染，在环保上拥有绝对优势，必将兴起并普及。

一、PVD相关概念的定义

真空：泛指低于一个大气压的气体状态。与普通的大气状态相比，分子密度较为稀薄，从

而气体分子与气体分子，气体分子与器壁之间的碰撞几率要低些。

二、PVD(Physical Vapor Deposition)的定义

所谓气象沉积是利用在气象中以物理或化学的反映过程，在工件

表面形成具有特殊性能的金属或化合物涂层的方法。

三、气象沉淀的特点

1.可以用来制备具有各种特殊力学性能和物理化学性能(如：高硬度，高耐热，高热导，高耐腐蚀，抗氧化，绝缘等)涂层。不仅可以层积金属涂层，合金涂层，还可以层积多种多样的化合物.非金属半导体.陶瓷和有机物的单层和多层结构的涂层。

2.气象沉积技术生产制备的高硬度，高耐热，高热导，高耐腐蚀，抗氧化，绝缘等涂层，特殊性能的电学，光学功能的涂层，装饰装修涂层，已广泛用于机械、航天、建筑、五金装饰、電子產品、汽配件等行业。

四、气象沉淀的优点：

(1)沉积速率大，生产效率高。由于采用了高速碰撞电极，可以获得非常大的轰击离子电流，所以靶表面的刻蚀速率和膜的沉积速率都很高。

(2)基体温升低。由于正交电磁场控制后减少了电子对基体的碰撞，因此减少了电子对基体的轰击能量，从而避免了基体温升过高，这对基体易受高温影响的元件来说是很有利的。

(3)沉积层是在真空条件下获得的，涂层的纯度高。

(4)在低温等离子体条件下产生，沉积层粒子的整体活性大，易与反应气体进行化合反应，获得各种涂层。

5)沉积层薄，可方便的控制多个工艺参数。

(6)沉积是在真空条件下进行的，没有有害气体排出，属于无污染技术。